真空干燥是基于液滴在真空條件下的沸騰溫度，即液體即使在低溫下也會蒸發(fā)的物理特性。例如在兜孔位置，清洗后液體仍然存在，并且很難用其他方法去除，而真空干燥卻能使它和工件表面殘液一樣快速蒸發(fā)。
 

　　水溶液清洗系統(tǒng)功能描述
 

　　一旦工作腔被需要清洗的零件占據(jù)并密封住，就需要用真空泵在約100 mbar的壓力下抽真空。清洗介質(zhì)通過水泵抽到工作腔。真空室保證了清洗液滲透到最小的腔，例如，由于空氣的間隔，插孔是不能被忽略的。隨后的清洗過程中可以有各種不同的步驟。通常包括浸泡和噴淋清洗的過程。有時會用到超聲波清洗，這一過程通常伴隨在一個或多個清洗循環(huán)之后。當(dāng)清洗液被抽走后，就發(fā)生了實(shí)際的真空干燥過程。在這一過程中，工作腔內(nèi)的壓力通過真空泵的氣體泵送后進(jìn)一步降低。而這時產(chǎn)生的蒸汽由真空泵一并吸出并轉(zhuǎn)移到排氣管。
 

　　溶劑清洗系統(tǒng)功能描述
 

　　原則上，溶劑清洗過程類似于水溶液清洗過程。然而，真空泵一般需要完成額外的工作。首先，符合防爆要求是至關(guān)重要的，此處有兩種不同的解決方法。要么可以用一個帶有防爆標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的真空泵，要么可以在恒定小于100 mbar的壓力驅(qū)動系統(tǒng)下進(jìn)行不需要防爆的清洗系統(tǒng)操作。系統(tǒng)的壓力可由任何一種真空泵生成，僅管通常會采用第二類較小的真空泵來完成這項(xiàng)工作。其次，在干燥過程中蒸發(fā)的溶劑，能在真空蒸餾器(溶劑可以從污染介質(zhì)中被蒸餾出來的裝置) 中被揮發(fā)。溶劑餾出物通過水池返回到清洗過程，而油/污集中收集在桶中。
 

　　真空發(fā)生器的使用
 

　　• 油潤滑型的旋片式真空泵
 

　　油潤滑型旋片式真空泵在清洗系統(tǒng)中被廣泛使用。經(jīng)驗(yàn)表明，這種類型的真空泵非常適合于此類應(yīng)用需求，它也因此成為清洗系統(tǒng)干燥過程中的標(biāo)準(zhǔn)泵。旋片式真空泵是使用壽命長且具有高真空度水平的強(qiáng)大真空發(fā)生器。然而，當(dāng)涉及到具有很高的蒸汽發(fā)生幾率的清洗過程中，旋片真空泵并不總是能夠防止蒸汽在真空泵的抽吸除去過程中發(fā)生冷凝的情況。與此同時，凝析油使真空泵油乳化。這可能導(dǎo)致滾動軸承和旋轉(zhuǎn)葉片不夠潤滑，造成真空泵另部件的磨損，吸入性能和預(yù)期的真空度也可能會受到影響。這些影響可以通過更頻繁的破壞真空泵油和過濾器來致使維護(hù)和整體運(yùn)營成本的上升。
 

　　• 干式螺桿真空泵
 

　　由 Dr. K. Busch GmbH制造的干式旋轉(zhuǎn)螺桿真空泵在一個廣泛的真空技術(shù)過程中有一段長期且成功的歷史。真空泵已成功滿足各類不同特定的應(yīng)用要求，從2005年開始，成功地應(yīng)用于工業(yè)清洗和干燥技術(shù)領(lǐng)域，并作為真空技術(shù)的新標(biāo)準(zhǔn)在這一領(lǐng)域廣泛傳播。
 

　　Busch COBRA螺桿真空泵不需要油作為工作液。在干燥過程中，它的優(yōu)點(diǎn)在于在壓縮過程中的凝結(jié)形成不接觸油，從而排除了與油潤滑型的旋片式真空泵有關(guān)問題出現(xiàn)的可能。
 

　　在COBRA螺桿真空泵中，雙螺桿轉(zhuǎn)子在缸內(nèi)的旋轉(zhuǎn)方向相反，互相之間或與氣缸內(nèi)壁并不接觸。同樣，密封通過一種非接觸方式，因而無磨損的情況發(fā)生。如果蒸汽在壓縮過程中凝結(jié)在COBRA螺桿真空泵里，依然會被氣流推送至壓縮腔的排氣側(cè)排除。因此每小時幾升的液體體積，可以沒有任何問題地通過泵體。用這樣一種方式設(shè)計(jì)排水口，即使當(dāng)真空泵處于停頓狀態(tài)，也可以很容易地排出凝結(jié)液體。
 

　　不像旋片式真空泵，螺桿真空泵是水冷式的。精心設(shè)計(jì)的冷卻原理確保一個均勻穩(wěn)定的溫度穿過整個泵體。冷卻液的量能夠被恒溫值的平均值所調(diào)節(jié)，從而允許這個過程中真空泵有一個理想的溫度控制，并且避免不必要的水資源浪費(fèi)。另外，一個具有密封冷卻系統(tǒng)的真空泵(換熱器)也可以安裝在就地沒有冷卻液可用的裝置上。
 

　　真空泵的比較
 

　　很難講對于清洗系統(tǒng)來說，油潤滑旋片真空泵或干式螺桿真空泵哪個才是更好的選擇。在技術(shù)方面，兩泵的原理都是可能的。對于冷凝風(fēng)險相對較低的清洗系統(tǒng)來說，旋片式真空泵是鑒于降低采購成本更明智的選擇。然而，如果冷凝的影響導(dǎo)致服務(wù)和維護(hù)成本的增加，螺桿真空泵可以更快更有利的節(jié)省整體運(yùn)營成本。在做真空泵的購買決策之前，咨詢真空專家很重要。